密。
正是这家来自种花家的企业，为阿斯唛提供对准系统，一举将EUV的良率拉高10%。
其重要程度直逼北美Cymar的新光源与蔡斯新一代光学，让阿斯唛的EUV光刻机，提前两年具备市场化量产能力。
「陈总客气了！橙科精密的产品，我们一直在用，CK—PAS1.0的零位漂移率进入实测之后，比我们预期的还要好！」
陈默点头：「闫博士，刚才您讲的光刻机国产化问题，我其实有一个不同的思路！」
闫涛南挑眉：「哦？愿闻其详！」
陈默看了看周围，而后笑著开口。
「如果不用一台机器，而用一套系统呢？」
闫涛南愣住了：「什么意思？」
陈默用手指在桌上画了一个圈。
「光刻机本质上，是一套极端精密的光学+机械+控制系统。
如果把它拆开...
光源是一套，光学系统是一套，传动工件台是一套，对准系统是一套，辅助系统是一套。
每一套，都可以是一个独立的「光刻模块」。」
他抬起头，看著闫涛南。
「如果把这些模块，用工厂的方式串联起来，而不是集成在一台机器里呢？
比如，我完全可以做一个几百米长的光刻厂」，工件在轨道上移动，依次经过各个模块一光源模块、掩模模块、曝光模块、检测模块...」
闫涛南的瞳孔微微收缩。
他张了张嘴，粗想之下居然觉得并非不可能，于是没有立刻反驳。
陈默继续说：「这样做的优势是，每个模块可以独立优化，独立升级。
而且，我不需要把几十吨重的机器做到纳米级稳定。
因为工件是移动的，模块是固定的，稳定性的要求会降低几个数量级。」
「当然，缺点也很明显..
占地面积大，生产效率低，不适合大规模量产。
但是，如果只用来做关键晶片的批量试制，或者做特种晶片，这个方案完全可行！」
闫涛南沉默了很久。
他想起当年在台机电时，做过的一些实验性项目。
陈默说的这个思路，不是天方夜谭。
某种意义上，早期的分步式光刻机，其实就是这样的。
只是后来为了追求效率，才走上了「集成化」的道路。
「陈总，你这个想法..
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