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第244章 流片数据出炉,光刻机主体成功[4 / 6]

比贺鹏涛和丁顺安小上几岁,在光酸剂与树脂等分子设计,以及合成与作用机理等研究领域,位于国内领先地位。

对国家化学材料的发展,做出过重要贡献。

此次整合国内资源,成立国家集成电路制造研发创新中心,他所在化学研究所,也被纳入整合范围。

负责国产高端光刻胶的研发工作。

其中值得一提的是,徐铭擅长数学物理甚至信息学科,凭借自身实力和天赋,带领光刻机和晶片设计软体,快速实现技术叠代。

以至于经常能在网上看到,又有新的进展新闻。

这对他们光刻胶项目组团队来讲,无疑有著巨大的压力。

只能依靠自身。

尽最大努力,保证国产高端光刻胶的研发,做到不拖其他项目部门的后腿。

毕竟大家所在工作属于一个整体,任何人掉队都不行。

幸好他们的运气还算不错,在首台逐光极紫外光刻机组装完前夕,成功合成一种效果更好的光刻胶。

远超过当前国内的光刻胶水平。

而正当他思维快速运转,脑海中一直想著流片结果时,耳旁突然响起徐铭的熟悉声音。

「我们要看的,不是能不能做出图形,而是现实与预测的偏差,究竟有多少原子。」徐铭看向周启深院士,神情很是认真的接话,他对流片数据的要求,远比现场人要高。

如果说其他人的目标,是晶片制造技术,追赶上阿斯麦设备的产品。

那么他则是要超过。

况且在付出这么多努力和心血后,想达成这一点,也并非是什么不可能做到的事。

余高远对徐铭的了解,无疑要比现场任何人都深。

他在听到这句话,当即应和道:「有你的这句话,我对流片结果可是更加期待了,看来又要给我惊喜。」

众人之间的交流并未持续多久,很快就又被流片过程吸引。

目睹百分之百国产化,正在运行的逐光极紫外光刻机,团队士气越发高昂。

由于整个流片过程,包括光刻和刻蚀,以及沉积等数十道工序,且被严密监控,因此往往要历时数周时间才能结束。

面对这种情况,大家毅然留在微电子装备。

都想第一时间看到流片数据,也好见证国内晶片制造历时上,真正里程碑时刻。

很快来到月底。

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