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第424章 真的是0.1纳米的光刻机[1 / 3]

古工赶紧凑过去看。

检测图像上密密麻麻的电路结构,线宽比昨天细了整整两个数量级,每一条线的边缘都像刀切一样整齐,没有任何粗糙感。

他调出显微镜的测量工具,在图像上拉了一条线。

屏幕上的数字跳动了几下,停在一个数值上。

他删除测量线,重新拉了一条,在另一个区域再测。

数字几乎一模一样。

六组不同区域的线宽测量,最大值和最小值的偏差小到几乎可以忽略不计,而平均线宽精确地落在了一个数字上——0.1纳米。

哐啷。

茶杯被古工的胳膊碰倒了,茶水洒在桌上,但他浑然不觉。

“零点一纳米!”

“零点一纳米!不是二十五纳米!全口径扫描六个区域,线宽偏差不到百分之一。”

古工的声音有些发颤,这个当了三十多年光学专家的老工程师,此刻说话的声音连他自己都觉得陌生。

苏工一把推开椅子站起来,几乎是跑到光刻机控制面板前面,重新调出系统自检报告。

他逐行核对每一个参数,从光学系统到运动平台到曝光光源到控制系统,每一个数字都用笔抄在纸上,然后重新算了一遍比例关系。

算完之后他把笔往桌上一扔,转身看着古工。

“所有的参数都对得上。光学系统精度、运动平台定位精度、曝光光源波长——这些参数同步提升之后,理论上能达到的线宽精度,就是零点一纳米。”

他指了指屏幕上那个自检报告:

“这台机器昨天晚上被人升级了。不知道是谁,不知道用什么方式。但升级之后的性能参数,每一项都超过了目前国际上最先进的光刻机。”

古工愣在原地,手扶着检测台像是在确认自己没有站不稳:

“零点一纳米!你知道全球最先进的光刻机公开报道的极限线宽是多少吗?这个数字要公布出去,全世界的芯片行业都要地震。”

为了确认是否真的是0.1,苏工重新走到检测屏幕前面,把同一组数据调出来反复对比。

每一遍对比都得出相同的结论。

他靠在椅背上,声音有些发干:

“这已经不是一代代差了。在这个精度面前,目前国际上最先进的光刻机至少还要追赶两到三代。芯片的计算能力能提升多少,功耗

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